ボイスコイルモーターシリーズ

製品を見る

高速・高精度ダイレクトドライブ向けボイスコイルモーションソリューションラインナップ

DINGS'は、要求される精度レベルとシステムの複雑さに応じて、単体コンポーネントからモジュール、完成ステージまでスケールアップしたボイスコイルラインナップを提供しています。バックラッシュフリーのボイスコイルモーター(VCM)やガイド一体型リニアアクチュエーター(VCA)から、センサー対応モジュールおよびエンコーダーベースの高精度リニアステージまで、お客様のアプリケーションに最適なソリューションをご提供します。

Voice Coil Motion Solutions

VCM・VCA・フラット型VCM

基本的なリニアアクチュエーションと繰り返し動作に最適化されたエントリーレベルのボイスコイルシリーズです。最大100 Hzのオープンループ制御に対応したコストパフォーマンスに優れた製品で、基本的なリニア駆動と繰り返し動作を必要とする装置に適しています。

対応ドライブ DINGS' DS-OLBV1-FR54

制御方式 オープンループ

最大駆動周波数 100 Hz

VCM VCA Flat-Type

ホールセンサー搭載ボイスコイルアクチュエーター

ホールセンサーフィードバックを搭載したパフォーマンスレベルのボイスコイルアクチュエーターです。オープンループ動作と比較して位置安定性と繰り返し精度が向上しており、コストと複雑さを抑えたシンプルなクローズドループ制御により、エントリーレベルと精密レベルの中間に位置するバランスの取れたソリューションを実現します。

対応ドライブ DINGS' DS-CLS9-FR54-01

制御方式 ホールセンサーベース簡易クローズドループ

Hall Sensor Voice Coil Actuator

ボイスコイルモジュール

リニアエンコーダーフィードバックを搭載した精密レベルのボイスコイルリニア駆動モジュールです。0.1〜1 μmの分解能での位置制御が可能で、微細な位置決めと精密アライメントを必要とする装置に最適です。Welcon Systems PixieおよびFalconドライブと組み合わせることで、高分解能エンコーダーベースのクローズドループ制御とμmレベルの精密位置決めを実現します。

対応ドライブ Welcon Systems Pixie・Falcon

制御方式 エンコーダーベースクローズドループ

分解能 0.1 〜 1 μm

Voice Coil Module

ボイスコイルステージ

DINGS'とINNOTROが共同開発したアドバンストレベルのボイスコイルステージソリューションです。高精度リニアエンコーダーベースのステージ構造を採用し、0.2 μmの繰り返し精度と高速応答特性を実現しており、半導体・光学・精密検査装置向けに最適化されています。Welcon Systems Merlinと組み合わせることで、マルチフィードバック高性能クローズドループ制御と高速・高精度なステージ位置決めが可能です。

対応ドライブ Welcon Systems Merlin

制御方式 マルチフィードバッククローズドループ

繰り返し精度 0.2 μm

Voice Coil Stage
デモ動画

DINGS' ボイスコイルモーター デモ動画

YouTubeで見る ›
デモ動画

DINGS' ボイスコイルアクチュエーター デモ動画

YouTubeで見る ›
デモ動画

DINGS' ボイスコイルステージ デモ動画

YouTubeで見る ›

DINGS'、ボイスコイルステージおよびボイスコイルモーター精密制御ソリューションで高速・高精度位置決めを強化

近年、半導体・光学・医療・バイオ・検査自動化産業において、マイクロメートルレベルの位置決め精度、高速応答、低ノイズ動作を同時に実現するモーションソリューションへの需要が急速に高まっています。こうした市場動向に応えるべく、DINGS'はボイスコイルステージおよびボイスコイルモーター(VCM)をベースとした精密制御ソリューションにより、高速・高精度ダイレクトドライブモーション制御の適用範囲を拡大しています。

■ リニアエンコーダーフィードバック搭載 高精度ボイスコイルステージ

新たに導入されたボイスコイルステージは、分解能0.2 µmの高精度リニアエンコーダーとクロスローラーベアリング構造を組み合わせ、優れた繰り返し精度と安定した直線運動を両立しています。76 mmプラットフォーム・20 mmストロークにより、スペースが限られた環境でも高速なダイナミック応答と精密制御を実現します。検査装置・マテリアルハンドリングシステム・高精度位置決め装置など、幅広い産業用途に対応します。

■ VCMベースの精密位置・速度制御ソリューション

DINGS'はVCM製品に対して、単純なアクチュエーション用途にとどまらない精密制御志向のソリューションも提供しています。VCM+アナログホールセンサー+DINGS'ドライブの構成は、光学フォーカスモジュールやレンズアライメントシステムなど、微細な位置決め制御を必要とするアプリケーションに最適化されており、高速応答と安定した位置フィードバックを実現します。

また、VCM+DINGS'ドライブによる速度制御ソリューションは、スキャン装置・半導体検査モジュール・レーザーステージなど、高速繰り返し動作を必要とするシステムにおいて、滑らかな速度制御と低振動性能を発揮します。

DINGS'はボイスコイルステージおよびVCMベースの精密制御ソリューションを通じて、高速・高精度ダイレクトドライブ位置決めが不可欠な検査・光学・医療自動化分野でのプレゼンスをさらに拡大しています。